概述
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒
堆積，從而降低了總體占地面積。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| iH80 | iH160 | iH600 | iH1000 | iH1800 |
峰值速度 | 103 m3h-1 | 165 m3h-1 | 600 m3h-1 | 1000 m3h-1 | 1800 m3h-1 |
| 61 cfm | 97 cfm | 353 cfm | 589 cfm | 1060 cfm |
| 1717 l min-1 | 2750 l min-1 | 10000 l min-1 | 16670 l min-1 | 30000 l min-1 |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar | 1 x 10-2 mbar | 7 x 10-4 mbar | 1 x 10-3 mbar | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | 7.5 x 10-3 Torr | 5.3 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr |
| 1 Pa | 1 Pa | 0.07 Pa | 0.1 Pa | 0.1 Pa |
典型軸封氮流量 | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO63 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO160 |
出口連接 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 | 120 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 |
| 2 l min-1 | 2 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 |
重量 | 240 kg | 244 kg | 415 kg | 430 kg | 502 kg |
極限功率輸入 | 2.7 kW | 3.1 kW | 3.4 kW | 3.8 kW | 4.1 kW |
電機(jī)額定功率 | 3.5 kW | 5.0 kW | 6.1 kW | 6.1 kW | 7.0 kW |
油容量 | 0.7 l | 0.85 l | 1.43 l | 1.48 l | 1.6 l |
