排氣管道內輸送阻力太大。
　　檢查清洗管道，更換管路及閥門。
　　二、吸入管道泄漏。
　　檢查吸入管道接頭，以及螺栓的擰緊力矩；檢查吸入口的密封墊；檢查泵殼上螺栓的擰緊力矩；檢查泵上的密封墊，更換新的密封墊。
　　三、轉速太低。
　　檢查電機頻率及電壓。
　　四、旋轉方向錯誤。
　　依照真空泵旋轉方向的指示箭頭，重新安裝接電機的電源線或調接相位
　　五、吸入管道橫斷面面積縮小
　　清洗吸入口過濾器，清楚吸入管道內的沉積物或更換吸入管
　　六、電機驅動異常。
　　關閉電動機，等待及其停穩(wěn)后，重新啟動電動機。
　　七、電動機旋轉方向錯誤。
　　改變電動機旋轉方向。